자유 반도체 질문(아시는분만 답변좀해줘요^^:)
- [충]분유타는남자
- 조회 수 122
- 2007.11.01. 11:53
먼저 파타님이 어제 친절히 설명해 주셔서 많은 이해를 했습니다.
감사합니다.
궁금사항은 웨이퍼 가공공정중 감광액(photoresist) 도포와 현상(development) 단계인데요.
(웨이퍼에 회로 패턴을 만들어 주기 위한 식각(etching) 전단계임)
이단계에 쓰이는 Developer 에는 TMAH 이외에 어떤게 있나요?
감사합니다.
궁금사항은 웨이퍼 가공공정중 감광액(photoresist) 도포와 현상(development) 단계인데요.
(웨이퍼에 회로 패턴을 만들어 주기 위한 식각(etching) 전단계임)
이단계에 쓰이는 Developer 에는 TMAH 이외에 어떤게 있나요?
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